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10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[24a-13P-5]Investigation of output change on DUV light generation using CsLiB₆O₁₀

〇Kyosuke Shimada¹, Yuto Matsumi¹, Nagi Yamamoto¹, Ryota Murai², Yoshinori Takahashi², George Okada³, Shigeyoshi Usami¹, Masayuki Imanishi¹, Mihoko Maruyama¹, Yusuke Mori^1,2, Masashi Yoshimura^2,4 (1.Osaka Univ., 2.SOSHO CHOKO Inc., 3.Spectronix Corp., 4.ILE, Osaka Univ.)

Keywords:

nonlinear optical crystal,DUV light generation

レーザー加工応用に向けて深紫外光源の高出力化を進める中で, CsLiB6O10（CLBO）結晶を深紫外光発生に長期間用いた際に生じる吸収の増加やビーム品質の低下が課題となっている. 先行研究では, 使用中の CLBO 素子に降温・吸水過程を意図的に加えると, その後再び加熱・脱水を行っても出力が回復しない現象が明らかになった. 本研究では新たな低温成長用フラックス溶液から作製した散乱欠陥の少ない高品質 CLBO 結晶を用いて, 同様の深紫外光出力の経時変化を調査した.

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[24a-13P-5]Investigation of output change on DUV light generation using CsLiB6O10

Keywords:

[24a-13P-5]Investigation of output change on DUV light generation using CsLiB₆O₁₀