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10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[24a-61A-2]Investigation of the influence of proton irradiation on SnO₂ thin films and SnO₂ based CO₂ gas sensors

〇Taisei Hattori¹, Takuto Maeda¹, Mutsumi Sugiyama^1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

SnO2,gas sensor,proton irradiation

本研究では、SnO₂薄膜及びSnO₂を用いた半導体デバイスの安全性・信頼性向上に向けた第一歩として、SnO₂薄膜及びSnO₂を用いたCO₂ガスセンサに対する陽子線照射が、薄膜物性やガス感度等の諸特性に与える影響の検討を行った。