[24a-61A-1~7] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:00 〜 10:15

[24a-61A-2] SnO₂薄膜及びSnO₂を用いたCO₂ガスセンサへの陽子線照射が与える影響

〇服部 汰星¹、前田 拓人¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大　創域理工、2.東理大　総研)

キーワード：

酸化スズ,ガスセンサ,陽子線照射

本研究では、SnO₂薄膜及びSnO₂を用いた半導体デバイスの安全性・信頼性向上に向けた第一歩として、SnO₂薄膜及びSnO₂を用いたCO₂ガスセンサに対する陽子線照射が、薄膜物性やガス感度等の諸特性に与える影響の検討を行った。