Presentation Information
[24a-61A-4]Effect of Composition Ratios on Ozone Detection Sensitivity in Solution-processed IGZO Thin Film
〇Hiroharu Sasajima1, Takaaki Morimoto1, Keisuke Ishii1 (1.NDA)
Keywords:
IGZO,solution process,gas sensor
増幅素子としての特性が最良な組成比In: Ga: Zn = 6: 1: 3に代わり、オゾンセンサとして最良となる溶液法IGZO-TFTの組成比を調べた。Ga: Zn = 1: 3に固定し、In比を20～80 %と変えた結果、オゾン感度は72 %で最大となった。In比の増加に伴い、酸素空孔は減少し、OH基は増加することが知られている。OH基量とオゾン感度との間には正の相関があるため、In比の増加によって、感度が向上したと考えれる。