[24a-61A-1~7] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:30 〜 10:45

[24a-61A-4] 溶液法IGZO薄膜の組成比がオゾン検出感度に与える影響

〇笹島 宏青¹、森本 貴明¹、石井 啓介¹ (1.防衛大)

キーワード：

IGZO,溶液法,ガスセンサ

増幅素子としての特性が最良な組成比In: Ga: Zn = 6: 1: 3に代わり、オゾンセンサとして最良となる溶液法IGZO-TFTの組成比を調べた。Ga: Zn = 1: 3に固定し、In比を20～80 %と変えた結果、オゾン感度は72 %で最大となった。In比の増加に伴い、酸素空孔は減少し、OH基は増加することが知られている。OH基量とオゾン感度との間には正の相関があるため、In比の増加によって、感度が向上したと考えれる。