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10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[24a-61B-6]Effects of Plasma-induced Damage on Viscoelastic Property by Cyclic Nanoindentation

〇Takahiro Goya¹, Keiichiro Urabe¹, Koji Eriguchi¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

plasma-induced damage,nanoindentation,viscoelastic property

プラズマプロセスはデバイス微細加工に広く用いられているが材料表面近傍では局所的欠陥構造が形成される（プラズマ誘起ダメージ: PID）．本研究では，シリコン窒化膜を対象に，PIDが繰り返しナノインデンテーションでの粘弾性特性に及ぼす影響を解析した．接触剛性には，従来のランダムウォーク成分に加え，クリープに代表される経時的な粘弾性特性の変動があることが確認された．PID形成による粘弾性特性への影響について議論する．

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