[24p-11F-12~20] CS.3 Code-sharing Session of 3.10 & 3.11

6:15 PM - 6:30 PM JST(9:15 AM - 9:30 AM UTC)

[24p-11F-19] Metalens for 80×60 pixels SOI diode uncooled infrared sensor

〇Misaki Hanaoka¹, Shinpei Ogawa¹, Manabu Iwakawa¹, Shoichiro Fukushima¹, Masaaki Shimatani¹ (1.Mitsubishi Electric Corp.)

Keywords:

metalens,LWIR imaging,Uncooled IRFPA

Siウエハを用いた長波長赤外線向けのメタレンズを設計・試作した。メタレンズは、1.5 µmから2.5 µmの太さのピラーを配置し、焦点距離は1 mmと5 mmとした。この構造をDeep Reactive Ion EtchingによりSiウエハ上に形成、80×60画素のSOIダイオード非冷却赤外線センサ”MelDIR”（MIR8060B1）に適用したところ、熱画像の取得に成功した。メタレンズを適用した赤外線センサの感度や視野等の光学特性の評価結果について発表する。