講演情報
[24p-11F-19]80×60画素SOIダイオード非冷却赤外線センサ向けメタレンズ
〇花岡 美咲1、小川 新平1、岩川 学1、福島 昌一郎1、嶋谷 政彰1 (1.三菱電機)
キーワード：
メタレンズ,長波長赤外線イメージング,非冷却赤外線画像センサ
Siウエハを用いた長波長赤外線向けのメタレンズを設計・試作した。メタレンズは、1.5 µmから2.5 µmの太さのピラーを配置し、焦点距離は1 mmと5 mmとした。この構造をDeep Reactive Ion EtchingによりSiウエハ上に形成、80×60画素のSOIダイオード非冷却赤外線センサ”MelDIR”（MIR8060B1）に適用したところ、熱画像の取得に成功した。メタレンズを適用した赤外線センサの感度や視野等の光学特性の評価結果について発表する。