[24p-12C-1~12] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)

[24p-12C-2] Improvement of Sensitivity of Rapid-scan Cavity Ring-down Spectroscopy

〇MINAMI AMANO¹, HIDEKI TOMITA², NORIHIKO NISHIZAWA², HISASHI ABE¹ (1.NMIJ/AIST, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:

humidity,trace moisture,cavity ring-down

半導体製造で使用される超高純度材料ガス中の微量水分を感度0.1 nmol mol⁻¹で素早く測定することを目標とし、高速スキャンCRDS微量水分計を開発している。本研究では、ミラーの反射率の向上(99.994 %→99.998 %)とフリンジノイズの低減を行うことで、高速スキャンCRDSの高感度化を図った。また、配管の微小なリーク源を特定・改善したことにより、内面の吸着/脱離水分を低減した。