講演情報
[24p-12C-2]高速スキャンCRDS微量水分計の高感度化
〇天野 みなみ1、富田 英生2、西澤 典彦2、阿部 恒1 (1.産総研、2.名大院工)
キーワード：
湿度,微量水分,キャビティリングダウン
半導体製造で使用される超高純度材料ガス中の微量水分を感度0.1 nmol mol−1で素早く測定することを目標とし、高速スキャンCRDS微量水分計を開発している。本研究では、ミラーの反射率の向上(99.994 %→99.998 %)とフリンジノイズの低減を行うことで、高速スキャンCRDSの高感度化を図った。また、配管の微小なリーク源を特定・改善したことにより、内面の吸着/脱離水分を低減した。