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[24p-12G-7]The evaluation of incubation time in VO2 thermally induced phase transition
by microheater heating

〇Satoshi Hamasuna1, Satya Prakash Pati1,2, Takeaki Yajima1 (1.Kyushu Univ., 2.North-Eastern Hill University)

Keywords:

oxide,microheater,vanadium dioxide

二酸化バナジウム(VO2)は室温近傍で金属絶縁体転移(MIT)を示し、転移温度(TMIT ≈ 340 K)付近で電気抵抗を約3桁減少させる。この相転移の速度に関して高速に転移することは知られておりその潜伏時間について議論されてきた。しかしながらこれまで熱力学的な温度変化に対する潜伏時間は調べられていない。そこで本研究ではマイクロヒータ構造をVO2薄膜直下に作成し、高速かつ均質に加熱することで熱誘起相転移の潜伏時間について評価を行った。