[24p-12H-1~17] 6.4 Thin films and New materials

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)

[24p-12H-13] Ultrasonic Mist Deposition of Tin Oxide Particulate Films and the Influence of Their Structure on Gas Sensing

〇Koki Sakai¹, Yo Ichikawa¹, Mitsuhiro Honda¹ (1.Nagoya Institute of Technology)

Keywords:

semiconductor,thin film,gas sensor

超音波ミスト堆積法によりナノ粒子膜構造を制御し、センサ能の向上および構造がガス応答に与える影響の検討を行った。実験データからガス応答に影響するパラメータについて議論する。