[24p-12H-1~17] 6.4 薄膜新材料

16:45 〜 17:00

[24p-12H-13] 超音波ミスト法により形成する酸化スズ膜構造のガス応答への影響

〇坂井 孝基¹、市川 洋¹、本田 光裕¹ (1.名工大応物)

キーワード：

半導体,薄膜,ガスセンサ

超音波ミスト堆積法によりナノ粒子膜構造を制御し、センサ能の向上および構造がガス応答に与える影響の検討を行った。実験データからガス応答に影響するパラメータについて議論する。