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[24p-12J-3]Surface analyses of the deposition films of iron fullerene composite ions synthe sized in ECR plasma

〇Tomoki Kizuka1, Haofan Yang2, Iori Hirahara2, Kenji Motohashi1,2,3 (1.Grad. Sch. Sci. Eng., Toyo Univ., 2.Fac. Sci. Eng., Toyo Univ., 3.BNERC)

Keywords:

ECRIS,Fullerene,Iron-fullerene complexes

電子サイクロトロン共鳴イオン源(ECRIS)内で鉄フラーレン複合イオンを生成する事を目的とし、C60フラーレンとフェロセンの蒸気を導入した10GHzのECRISから質量数710~730uのイオンビームを5.0keVで引き出し、Si単結晶基板に照射した。イオンビーム照射跡に堆積した膜のX線光電子分光法(XPS)、飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)、飛行時間型レーザー脱離イオン化質量分析(LDI-TOF-MS)、ラマン分光法により調べた結果、ゼロ価鉄を含む炭化水素クラスターの生成を確認した。