[24p-12J-1~9] CS.8 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[24p-12J-3] ECRプラズマ中で合成された鉄フラーレン複合イオンの堆積膜の表面分析

〇木塚 智基¹、楊 昊凡²、平原 伊織²、本橋 健次^1,2,3 (1.東洋大院理工、2.東洋大理工、3.バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター)

キーワード：

ECRIS,フラーレン,鉄フラーレン複合イオン

電子サイクロトロン共鳴イオン源(ECRIS)内で鉄フラーレン複合イオンを生成する事を目的とし、C60フラーレンとフェロセンの蒸気を導入した10GHzのECRISから質量数710～730uのイオンビームを5.0keVで引き出し、Si単結晶基板に照射した。イオンビーム照射跡に堆積した膜のX線光電子分光法(XPS)、飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)、飛行時間型レーザー脱離イオン化質量分析(LDI-TOF-MS)、ラマン分光法により調べた結果、ゼロ価鉄を含む炭化水素クラスターの生成を確認した。