[24p-12J-1~9] CS.8 Code-sharing Session of 8.3 & 9.2

5:00 PM - 5:15 PM JST(8:00 AM - 8:15 AM UTC)

[24p-12J-6] Vapor detection using nanoscale void of insulator nanoparticle film

〇Shinya Kano¹, Harutaka Mekaru¹ (1.AIST)

Keywords:

sensor

液体や気体を非接触で識別する化学センサの研究が盛んである。近年、ナノ構造を有する材料が感応膜として活用され、室温下で動作する化学センサが報告されている。我々はこれまでに、ナノ粒子積層膜中に存在する粒子間の空孔を利用することで、気中の湿度や蒸気の高速なセンシングを示している。本報告ではその取り組みの概要を説明する。