[24p-12J-1~9] CS.8 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

17:00 〜 17:15

[24p-12J-6] 絶縁性ナノ粒子間の空孔を活用した気中蒸気の検出

〇加納 伸也¹、銘苅 春隆¹ (1.産総研)

キーワード：

センサ

液体や気体を非接触で識別する化学センサの研究が盛んである。近年、ナノ構造を有する材料が感応膜として活用され、室温下で動作する化学センサが報告されている。我々はこれまでに、ナノ粒子積層膜中に存在する粒子間の空孔を利用することで、気中の湿度や蒸気の高速なセンシングを示している。本報告ではその取り組みの概要を説明する。