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[24p-22B-3]Effects of Gate-Dielectric Surface Energy on Contact Resistance in Bottom-Gate-Bottom-Contact-Type Organic TFTs

〇(D)Keito Murata1, Shinji Tsuchida1, Satoru Inoue1, Toshiki Higashino2, Tatsuo Hasegawa1 (1.U. Tokyo, 2.AIST)

Keywords:

organic transistor,carrier injection,surface energy

BGBC型素子構造の有機薄膜トランジスタ(TFT)は実用面で有利だが、電極から半導体へのキャリア注入効率が低くなりやすい。BGBC型TFTのキャリア注入は、構造上、絶縁層表面のごく近傍で生じるという特徴がある。そこで今回、様々な絶縁層材料を用いてBGBC型TFTを作製し、キャリア注入への影響を調べた。結果、表面エネルギーが小さい絶縁層ではキャリア注入効率が高い傾向が見られ、デバイス性能が向上することがわかった。