講演情報
[24p-22B-3]ボトムゲート・ボトムコンタクト型有機TFTにおけるゲート絶縁層の表面エネルギーと接触抵抗
〇(D)村田 啓人1、土田 真嗣1、井上 悟1、東野 寿樹2、長谷川 達生1 (1.東大院工、2.産総研)
キーワード:
有機トランジスタ,キャリア注入,表面エネルギー
BGBC型素子構造の有機薄膜トランジスタ(TFT)は実用面で有利だが、電極から半導体へのキャリア注入効率が低くなりやすい。BGBC型TFTのキャリア注入は、構造上、絶縁層表面のごく近傍で生じるという特徴がある。そこで今回、様々な絶縁層材料を用いてBGBC型TFTを作製し、キャリア注入への影響を調べた。結果、表面エネルギーが小さい絶縁層ではキャリア注入効率が高い傾向が見られ、デバイス性能が向上することがわかった。