[24p-P05-1~36] 9 Applied Materials Science (Poster)

[24p-P05-28] Suppression of impurity formation in the alloying process using RTA to fabricate high-quality thermoelectric Heusler alloy Fe₂TiAl thin films

〇Daisuke Iida¹, Hiroshi Kumagai¹, Yota Takamura¹, Shigeki Nakagawa¹ (1.Tokyo tech.)

Keywords:

Heusler alloy,RTA

RTAの合金化プロセスにおいて、反応防止層の導入や雰囲気ガスの変更により不純物の形成を抑制することで、高品質な熱電ホイスラー合金Fe₂TiAl薄膜を形成した。