Presentation Information
[24p-P06-10]Fabrication of stoichiometric SnS thin films by sputtering with sulfur plasma supply
〇Taichi Nogami1, Issei Suzuki1, Takahisa Omata1 (1.Tohoku Univ.)
Keywords:
Thin-film solar cell,Tin sulfide,Sputtering
薄膜太陽電池材料として期待されているSnSは、真空プロセスを用いた成膜にて、変換効率の低下につながる硫黄欠損が生じやすい。本研究では、SnSのスパッタリングに硫黄プラズマを重畳することで、化学量論組成のSnS薄膜の作製を試みた。硫黄プラズマの供給によりSnS薄膜は化学量論組成に近づくとともに、モフォロジーが改善し、太陽電池への応用により適した物性を有することが明らかとなった。