講演情報
[24p-P06-10]硫黄プラズマを援用したスパッタリングによる化学量論組成SnS薄膜の作製
〇野上 大一1、鈴木 一誓1、小俣 孝久1 (1.東北大)
キーワード：
薄膜太陽電池,硫化スズ,スパッタリング
薄膜太陽電池材料として期待されているSnSは、真空プロセスを用いた成膜にて、変換効率の低下につながる硫黄欠損が生じやすい。本研究では、SnSのスパッタリングに硫黄プラズマを重畳することで、化学量論組成のSnS薄膜の作製を試みた。硫黄プラズマの供給によりSnS薄膜は化学量論組成に近づくとともに、モフォロジーが改善し、太陽電池への応用により適した物性を有することが明らかとなった。