[25a-31B-1~8] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[25a-31B-3] AuPd nanowire H₂ gas sensor

〇Mingyue Yang¹, Wataru Yamaguchi¹, Ryosuke Nitta¹, Seiichiro Izawa¹, Yutaka Majima¹ (1.Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology)

Keywords:

gas sensor,nanowire,AuPd alloy

本研究では、AuPd合金ナノワイヤー水素ガスセンサを作製し、 Pdナノワイヤ水素ガスセンサー特性と比較した。極めて細い線幅を持つPdナノワイヤー、ならびにAuPdナノワイヤーは、電子線ビームリソグラフィー(EBL)により作製した。Pd蒸着後、Auを蒸着し、アニール処理により金を1%含むAu_0.01Pd_0.99合金ナノワイヤーを作製した。PdナノワイヤーとAu_0.01Pd_0.99合金ナノワイヤーガスセンサーで、濃度0.5％の水素ガスを検出した。AuPd合金ナノワイヤガスセンサでは、感度が増加し、応答時間、回復時間共に高速化したことを明らかにした。