講演情報
[25a-31B-3]AuPd合金ナノワイヤーH2ガスセンサー
〇楊 銘悦1、山口 航1、新田 亮介1、伊澤 誠一郎1、真島 豊1 (1.東京工業大学 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所)
キーワード：
ガスセンサ,ナノワイヤ,金パラジウム合金
本研究では、AuPd合金ナノワイヤー水素ガスセンサを作製し、 Pdナノワイヤ水素ガスセンサー特性と比較した。極めて細い線幅を持つPdナノワイヤー、ならびにAuPdナノワイヤーは、電子線ビームリソグラフィー(EBL)により作製した。Pd蒸着後、Auを蒸着し、アニール処理により金を1%含むAu0.01Pd0.99合金ナノワイヤーを作製した。PdナノワイヤーとAu0.01Pd0.99合金ナノワイヤーガスセンサーで、濃度0.5％の水素ガスを検出した。AuPd合金ナノワイヤガスセンサでは、感度が増加し、応答時間、回復時間共に高速化したことを明らかにした。