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[25p-12H-11]Laser joining of amorphous carbon films with varying light absorption properties

〇Karyu Hase1, Dai Harada1, Yuko Aono1, Yuki Hirata1, Naoto Ohtake1, Hiroki Akasaka1 (1.Tokyo Inst. Tech)

Keywords:

Amorphous Carbon Films,Joining,Laser Irradiation

光吸収係数の異なる膜を合成し,これらのアモルファス炭素膜を組み合わせて同じ様にレーザ照射して,接合を試み,アモルファス炭素膜の光吸収係数が接合に与える影響を検討した.その結果,レーザ照射によるアモルファス炭素膜の接合では膜の光吸収係数がその接合の因子として重要であることが示された.