講演情報
[25p-12H-11]光吸収特性の異なるアモルファス炭素膜のレーザ接合
〇長谷 嘉琉1、原田 大1、青野 祐子1、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大)
キーワード:
アモルファス炭素膜,接合,レーザー照射
光吸収係数の異なる膜を合成し,これらのアモルファス炭素膜を組み合わせて同じ様にレーザ照射して,接合を試み,アモルファス炭素膜の光吸収係数が接合に与える影響を検討した.その結果,レーザ照射によるアモルファス炭素膜の接合では膜の光吸収係数がその接合の因子として重要であることが示された.