[25p-12H-1~12] 6.2 Carbon-based thin films

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[25p-12H-4] Synthesis and Electric Properties of Nitrogen Nano-doped Diamond-like Carbon Films

〇Hiroya Noda¹, Haruhiro Naito¹, Keisuke Yamamoto², Susumu Takabayashi¹ (1.NIT, Ariake College, 2.Fac. of Eng. Sci., Kyushu Univ.)

Keywords:

diamond-like carbon,photoemission-assisted plasma

光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いた窒素ナノドープDLC薄膜の合成と電気特性について報告する。PA-PECVDでは、基板から放出される多量の光電子を初期電子として利用しており、結果として安定した電圧でプラズマを再現かつプラズマを光照射部位に局所化させて電流密度を正確に見積もることができる。さらにPA-PECVDでは光電子制御Townsend放電(PATD)を用いて、nm/min.オーダーの精密で実用的な成膜が可能となる。本精密成膜法を活用して、窒素をナノ構造制御ドーピングしたDLC薄膜の成膜とその電気特性を議論する。