講演情報
[25p-12H-4]窒素ナノドーピングダイヤモンドライクカーボンの合成とその電気特性
〇野田 浩矢1、内藤 陽大1、山本 圭介2、鷹林 将1 (1.有明高専、2.九大院総理工)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン,光電子制御プラズマ
光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いた窒素ナノドープDLC薄膜の合成と電気特性について報告する。PA-PECVDでは、基板から放出される多量の光電子を初期電子として利用しており、結果として安定した電圧でプラズマを再現かつプラズマを光照射部位に局所化させて電流密度を正確に見積もることができる。さらにPA-PECVDでは光電子制御Townsend放電(PATD)を用いて、nm/min.オーダーの精密で実用的な成膜が可能となる。本精密成膜法を活用して、窒素をナノ構造制御ドーピングしたDLC薄膜の成膜とその電気特性を議論する。