Presentation Information
[25p-22C-8]Effect of the shape of the texture formed on the Si surface on perovskite film formation
〇Pengyu Yang1, Peng Liu2, Huynh Thi Cam Tu1, Md. Shahiduzzaman2, Tetsuya Taima2, Keisuke Ohdaira1 (1.JAIST, 2.Kanazawa Univ.)
Keywords:
pyramidal texture,etching,perovskite
テクスチャSi上へのカバレージの良いペロブスカイト成膜のため、二つのペロブスカイト成膜方法での四つのテクスチャ構造への成膜を行った。スピンコーティングよりも蒸着による成膜によりカバレージの良い成膜を実現し、かつ反射率を低減できた。60 °Cで作製した超小テクスチャでは反射率が高かった。一方、反射率が低い反テクスチャでは膜の密着性が悪かった。83 °Cで形成した小テクスチャでは、反射率とカバレージの両立を実現した