[25p-31B-1~12] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[25p-31B-5] Formation and Light Emission Properties of Fe-silicide Core/Si-Shell Quantum Dots

〇Haruto Saito¹, Katsunori Makihara¹, Seiichi Miyazaki¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:

Nanodots,Photoluminescence,beta-FeSi2

リモートH₂プラズマ(H₂-RP)支援により熱酸化SiO₂上にFeナノドットを高密度(~10¹¹cm^-2)形成後、基板温度400˚CでSiH₄照射を行うことでb-FeSi₂ナノドットが形成でき[1]、さらには、SiH₄照射量を増加した場合、ドット表面にSi層が選択成長することを明らかにしてきた[2]。本研究では、b-FeSi₂コア／Siシェル構造のナノドット形成を意図し、薄層化したSOI構造およびSiO₂上に予め形成した高密度Si量子ドットに、Fe超薄膜の電子線蒸着とSiH₄照射を行った。