Presentation Information
[10a-N105-8]Distribution and shape of line shaped voids in β-Ga2O3 grown by the vertical Bridgman method
〇Ukyo Miyagi1, Toshinori Taishi1, Keigo Hoshikawa1 (1.Shinshu Univ.)
Keywords:
gallium oxide
本研究では、β-Ga2O3単結晶中の観察位置を変化させたときの線状ボイドの分布と形状を評価した。VB法で一定速度で育成した1本の3inch-(010)β-Ga2O3単結晶から位置を変えて(100)劈開面の直方体試料を用意した。大塚電子の光波動場三次元顕微鏡MINUKを用いて線状ボイドの形状を観察し、体積密度を算出した。その結果、結晶育成がすすむにつれてボイドの密度は増加するが、ボイドの総体積は減少することがわかった。