[10a-N204-1~10] 9.3 Nanoelectronics

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10a-N204-6] Local anodization of each titanium microwire on a chip under different conditions

〇(M1C)Takeru Hara¹, Soma Furuhata¹, Yasuo Kimura¹ (1.Tokyo Univ. of Technol.)

Keywords:

titanium oxide nanotube,integration,gas sensor

対極に挟まれるようにTiマイクロワイヤを基板上に配置することにより、他のTiマイクロワイヤに影響を及ぼすことなく、Tiマイクロワイヤを選択的に局所陽極酸化することに成功し、同一基板上に径の異なるTNT膜をミクロンスケールで形成した。この結果は、局所陽極酸化技術により特性が制御されたTNT膜の集積化が可能であることを示しており、酸化物半導体式の“におい”センサなどへの応用が期待できる。