講演情報
[10a-N204-6]同一基板上のTiマイクロワイヤの異なる条件での局所陽極酸化
〇(M1C)原 豪琉1、降幡 颯真1、木村 康男1 (1.東京工科大工)
キーワード：
酸化チタンナノチューブ、集積化、ガスセンサ
対極に挟まれるようにTiマイクロワイヤを基板上に配置することにより、他のTiマイクロワイヤに影響を及ぼすことなく、Tiマイクロワイヤを選択的に局所陽極酸化することに成功し、同一基板上に径の異なるTNT膜をミクロンスケールで形成した。この結果は、局所陽極酸化技術により特性が制御されたTNT膜の集積化が可能であることを示しており、酸化物半導体式の“におい”センサなどへの応用が期待できる。