[10a-N321-1~12] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)

[10a-N321-12] Bis-PCBM-Containing Electrically Conducting Electron-Beam Resist II

〇Anri Nakajima¹, Taisei Hanawa¹, Masafumi Mishima¹ (1.RISE, Hiroshima Univ.)

Keywords:

nanometer-scale electronic device,ZEP520A,bis-PCBM

有機電子線レジストにフラーレン誘導体や有機発光性低分子を混合させて、電気伝導性の有機ナノドットや有機ナノワイヤ構造を電子線露光と現像のみのプロセスで作製する方法を開発している。今回、ポジ型有機電子線レジストであるZEP520Aにフラーレン誘導体bis-PCBMを混合した薄膜構造についてダイオードを作製し、電流－電圧特性を測定し、その電気伝導機構を調べた。