講演情報
[10a-N321-12]Bis-PCBM混合電気伝導性電子線レジストの研究 II
〇中島 安理1、塙 太生1、三島 理史1 (1.広島大 半導体産業技術研)
キーワード：
ナノサイズ電子デバイス、ZEP520A、bis-PCBM
有機電子線レジストにフラーレン誘導体や有機発光性低分子を混合させて、電気伝導性の有機ナノドットや有機ナノワイヤ構造を電子線露光と現像のみのプロセスで作製する方法を開発している。今回、ポジ型有機電子線レジストであるZEP520Aにフラーレン誘導体bis-PCBMを混合した薄膜構造についてダイオードを作製し、電流－電圧特性を測定し、その電気伝導機構を調べた。