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[10a-P03-8]Evaluation of charge injection and discharge processes in C60 MIS devices by displacement current measurement using triangular waves and small AC voltages
〇Megumi Inoue1, Aoi Ito1, Yuji Takata1, Takaaki Suzuki1, Yuya Tanaka1 (1.Gunma Univ.)
Keywords:
semiconductor,Displacement Current Measurement,Charge injection mechanism
有機半導体デバイスの高性能化には、電荷注入特性の理解が重要である。電荷挙動の評価にはインピーダンス分光法（IS）や変位電流法（DCM）が用いられてきたが、それらの手法では注入と放出過程を分離して評価することが難しい。そこで我々は、三角波に微小な交流成分を重畳した波形を用いるAC-DCM法を提案した。本手法をC₆₀ MIS構造素子に適用したところ、注入と放出においてRe(Z)に差が生じることを確認したので報告する。