講演情報
[10a-P03-8]三角波と微小交流電圧を用いた変位電流評価法によるC60 MIS型素子の電荷注入・放出過程の評価
〇井上 恵1、伊藤 蒼生1、髙田 裕司1、鈴木 孝明1、田中 有弥1 (1.群馬大院理工)
キーワード：
半導体、変位電流測定、電荷注入機構
有機半導体デバイスの高性能化には、電荷注入特性の理解が重要である。電荷挙動の評価にはインピーダンス分光法（IS）や変位電流法（DCM）が用いられてきたが、それらの手法では注入と放出過程を分離して評価することが難しい。そこで我々は、三角波に微小な交流成分を重畳した波形を用いるAC-DCM法を提案した。本手法をC₆₀ MIS構造素子に適用したところ、注入と放出においてRe(Z)に差が生じることを確認したので報告する。