Presentation Information
[10a-S103-3]Doping of Graphene by Photoemission-assisted Plasma
〇Akihisa Sekimoto1, Tsubasa Demura1,2, Haruhiro Naito1, Masanori Shinohara3, Kazutoshi Takahashi4, Susumu Takabayashi1 (1.NIT, Ariake College, 2.Kyushu Univ., 3.Fukuoka Univ., 4.Saga Univ.)
Keywords:
graphene,photoemission-assisted plasma
運動エネルギーを0.1 eVレベルで抑制した光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いて、低エネルギーArイオン照射によるグラフェンのドーピング制御を検討した。照射後のラマン測定と光電子分光測定から、グラフェンを破壊せずにp型ドーピングされていることが示唆された。