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[10a-S103-3]Doping of Graphene by Photoemission-assisted Plasma

〇Akihisa Sekimoto1, Tsubasa Demura1,2, Haruhiro Naito1, Masanori Shinohara3, Kazutoshi Takahashi4, Susumu Takabayashi1 (1.NIT, Ariake College, 2.Kyushu Univ., 3.Fukuoka Univ., 4.Saga Univ.)

Keywords:

graphene,photoemission-assisted plasma

運動エネルギーを0.1 eVレベルで抑制した光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いて、低エネルギーArイオン照射によるグラフェンのドーピング制御を検討した。照射後のラマン測定と光電子分光測定から、グラフェンを破壊せずにp型ドーピングされていることが示唆された。