講演情報

[10a-S103-3]光電子制御プラズマによるグラフェンへのドーピング制御

〇関本 晃久1、出村 翼1,2、内藤 陽大1、篠原 正典3、高橋 和敏4、鷹林 将1 (1.有明高専、2.九大工、3.福大工、4.佐賀大シンクロ)

キーワード:

グラフェン、光電子制御プラズマ

運動エネルギーを0.1 eVレベルで抑制した光電子制御タウンゼント放電プラズマを用いて、低エネルギーArイオン照射によるグラフェンのドーピング制御を検討した。照射後のラマン測定と光電子分光測定から、グラフェンを破壊せずにp型ドーピングされていることが示唆された。