[10p-N205-1~6] CS.8 Code-sharing session of 6.2&KS1

1:30 PM - 2:00 PM JST(4:30 AM - 5:00 AM UTC)

[10p-N205-1] [Invited Talk] Development of Fabrication Technologies for Photonic Nanostructures Based on
Wide-Bandgap Semiconductors toward Quantum Applications

〇Satoshi Iwamoto^1,2, Satomi Ishita¹, Hidetsugi Matsukiyo², Sangmin Ji², Hideo Otsuki², Masao Nishioka², Natthajuks Pholsen², Teruya Ishihara², Riena Jinno¹, Koudai Iijima¹, Jewook Jeon¹, Keidai Toyoshima¹ (1.RCAST, Univ. of Tokyo, 2.IIS, Univ. of Tokyo)

Keywords:

widegap semiconductor,quantum technology,photonic nanostructures

本講演では、ワイドギャップ半導体の高精度ナノ加工の難しさ、我々のアプローチと最新の成果を紹介するとともに、量子技術における加工技術の重要性を議論する。