[10p-N205-1~6] CS.8 6.2 カーボン系薄膜、KS1 固体量子センサ研究会のコードシェアセッション

13:30 〜 14:00

[10p-N205-1] [分科内招待講演] 量子応用を目指したワイドギャップ半導体光ナノ構造形成技術の開発

〇岩本 敏^1,2、石田 悟己¹、松清 秀次²、池 尙玟²、大槻 秀夫²、西岡 政雄²、Pholsen Natthajuks²、石原 照也²、神野 莉衣奈¹、飯嶋 航大¹、全 濟旭¹、豊島 慶大¹ (1.東大先端研、2.東大生研)

キーワード：

ワイドギャップ半導体、量子技術、フォトニックナノ構造

本講演では、ワイドギャップ半導体の高精度ナノ加工の難しさ、我々のアプローチと最新の成果を紹介するとともに、量子技術における加工技術の重要性を議論する。