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11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[7a-N105-6]Development of a measurement method for in-plane thermal diffusivity in thin films using a striped heating pattern (2): Evaluation of in-plane thermal diffusivity in Mo and Al films

〇Hiroto Arima¹, Takashi Yagi¹, Yuichiro Yamashita¹ (1.AIST)

thin film,in-plane thermal diffusivity,time-domain thermoreflectance measruement

本研究ではMoとAl膜における面内方向の熱拡散率の評価を行った。時間領域サーモリフレクタンス法測定における加熱光をメタルマスクによって縞状にすることで、試料表面に二次元的な温度分布を作ることができる。本講演では面内方向熱拡散率測定手法の開発と実際の応用例を報告する。