講演情報
[7a-N105-6]縞状加熱を用いた薄膜面内方向熱拡散率計測手法の開発(2) : MoおよびAl膜における面内方向の熱拡散率の評価
〇有馬 寛人1、八木 貴志1、山下 雄一郎1 (1.産総研)
キーワード：
薄膜、面内方向熱拡散率、時間領域サーモリフレクタンス測定
本研究ではMoとAl膜における面内方向の熱拡散率の評価を行った。時間領域サーモリフレクタンス法測定における加熱光をメタルマスクによって縞状にすることで、試料表面に二次元的な温度分布を作ることができる。本講演では面内方向熱拡散率測定手法の開発と実際の応用例を報告する。