[7p-N104-1~8] Recent progress in atomic/nano-scale electronic states measurement using scanning probe microscopy

3:50 PM - 4:05 PM JST(6:50 AM - 7:05 AM UTC)

[7p-N104-6] Wide frequency range measurement of scanning impedance microscopy using heterodyne method and its application to analysis of all-solid-state batteries

〇Yuji Yamagishi¹, Hirotada Gamo¹, Yasushi Maeda¹, Zyun Siroma¹, Tetsu Kiyobayashi¹, Nobuhiko Takeichi¹, Hikaru Sano¹ (1.AIST)

Keywords:

scanning impedance microscopy,all-solid-state batteries,Heterodyne method

走査型インピーダンス顕微鏡（SIM）は、静電気力検出に基づくAFM技術の一種である。近年、空間分解能の高いFM方式のSIMが開発されたが、電池材料の性能評価において重要な10kHz～1MHzの周波数帯での測定が困難という課題があった。本研究では、静電気力の検出にヘテロダイン法を導入したSIMを開発し、測定可能な周波数帯を大幅に拡張（1 Hz～300 kHz）するとともに、本手法を全固体電池に適用して、電極内部のインピーダンス分布を解析した。