講演情報
[7p-N104-6]ヘテロダイン法による走査型インピーダンス顕微鏡の広周波数帯測定化と全固体電池解析への応用
〇山岸 裕史1、蒲生 浩忠1、前田 泰1、城間 純1、清林 哲1、竹市 信彦1、佐野 光1 (1.産総研)
キーワード：
走査型インピーダンス顕微鏡、全固体電池、ヘテロダイン法
走査型インピーダンス顕微鏡（SIM）は、静電気力検出に基づくAFM技術の一種である。近年、空間分解能の高いFM方式のSIMが開発されたが、電池材料の性能評価において重要な10kHz～1MHzの周波数帯での測定が困難という課題があった。本研究では、静電気力の検出にヘテロダイン法を導入したSIMを開発し、測定可能な周波数帯を大幅に拡張（1 Hz～300 kHz）するとともに、本手法を全固体電池に適用して、電極内部のインピーダンス分布を解析した。