[7p-N201-1~12] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[7p-N201-11] Structure Control of BaTiO₃ Flexible Thin Films Using Ba-substituted Sr₃Al₂O₆ Water-Soluble Buffer Layers

〇(M2)Keishi Takamiya¹, Hiroki Matsuo¹, Yuji Noguchi¹ (1.Kumamoto Univ)

Keywords:

BaTiO3,flexible,Thin Film

本研究では、高性能なフレキシブル強誘電体薄膜キャパシタの開発を目指した。水溶性バッファ層として格子定数を制御可能な(Ba_x, Sr_1−x)₃Al₂O₆（BSAO）を用いたエピタキシャルBaTiO₃（BT）薄膜の作製と、バッファ層の水溶によるPDMSシートへの転写を行った。得られた薄膜はフレキシブルであり、XRD測定から(001)配向を保持していた。また表面形状観察によって、平滑でクラックフリーである事を確認した。分極特性の詳細についても報告予定である。