講演情報
[7p-N201-11]Ba置換Sr3Al2O6水溶性バッファ層を用いたBaTiO3フレキシブル薄膜の作製と構造制御
〇(M2)高宮 啓志1、松尾 拓紀1、野口 祐二1 (1.熊本大)
キーワード：
チタン酸バリウム、フレキシブル、薄膜
本研究では、高性能なフレキシブル強誘電体薄膜キャパシタの開発を目指した。水溶性バッファ層として格子定数を制御可能な(Bax, Sr1−x)3Al2O6（BSAO）を用いたエピタキシャルBaTiO3（BT）薄膜の作製と、バッファ層の水溶によるPDMSシートへの転写を行った。得られた薄膜はフレキシブルであり、XRD測定から(001)配向を保持していた。また表面形状観察によって、平滑でクラックフリーである事を確認した。分極特性の詳細についても報告予定である。