[7p-N202-1~14] 6.4 Thin films and New materials

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[7p-N202-5] Syntheses of Cu₃N Epitaxial Thin Films by Dual-Source-type Mist CVD

〇Ibuki Shoda¹, Oka Daichi¹, Hirose Yasushi¹ (1.Tokyo Metropolitan Univ.)

Keywords:

Mist CVD,Solar Cell,Cu3N

窒化銅はバンドギャップが約1 eVの両極性を示す半導体であり、可視光領域で強い光学吸収を示すことから薄膜太陽電池の光吸収層などへの応用が期待されている。本研究では、大気圧下の溶液プロセスであるミスト化学気相成長(CVD)法において、2種類の溶液を使用したデュアルソース式の構成を用いて500 ℃以上での高温成膜に成功した。