Presentation Information
[7p-N305-13]Integration of Si-membranes with Parylene film for a fully flexible neural recording amplifier
〇Koga Matsushita1, Yuki Kondo1, Koji Yamashita1, Rika Numano1, Kowa Koida1, Takeshi Kawano1 (1.Toyohashi University of Technology)
Keywords:
Si membrane,Buffer amplifier,Neural recording
脳神経科学やBMI応用に向け、脳内ニューロン活動を高精度に計測する低侵襲電極デバイスが求められている。私たちはVLS法で低侵襲マイクロプローブを作製し、電極の高インピーダンスに対しバッファアンプを実装してきた。従来はSi基板の剛性により脳組織への損傷が課題だったため、本研究ではSi製アンプの薄膜化とParyleneフィルム基板への集積を試みた。SOI基板からTop-Si層をエッチング・剥離し、Parylene上に集積可能であることを確認した。