[7p-P01-1~15] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[7p-P01-12] Direct Bonding of PET Films Using Vacuum Plasma Surface Modification and Evaluation of Optical Properties

〇(M2)Takumi Koyama¹, Satoshi Sugimura², Kei Matsuura², Kenji Hirakuri¹, Kazuya Kanasugi¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.KASUGA DENKI, INC.)

Keywords:

surface modification,Bonding,plasma

産業界では、特性向上のため各種樹脂フィルムが接着剤を用いて積層されるが、耐久性や成分溶出の課題があり、接着剤を使わない接合技術が求められている。先行研究では、O₂プラズマ表面改質後に熱プレスすることで、PETフィルム同士の直接接合が可能と報告されているが、接合条件が接合力や物性に与える影響は十分に調査されていない。本研究では、プラズマ処理ガスの種類が与える影響を調査した。